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超纯水设备通过多种技术组合来去除水中的杂质，从而制造出高质量的水。以下是超纯水设备的主要工作原理和技术：

预处理。自来水首先通过预处理单元，去除水中较大的颗粒、悬浮物以及部分有机物。

反渗透。水通过反渗透单元，对水中的离子物质和大分子物质（如病毒、微生物等）进行截留性去除。

离子交换。通过离子交换技术，对经过膜去除后残余的微少离子进行纯化和超纯化，使水中的离子含量降低到痕量水平。

电去离子化（EDI）。EDI系统在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯。

超滤。*后通过UV、超滤等技术确保超纯水中的微生物、有机物和热原满足各类实验应用需求。

超纯水设备的工艺流程通常包括预处理、反渗透、离子交换、终端超滤等单元，具体流程可能因设备类型和应用领域而异。