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电子级亚磷酸三甲酯(TMPI)
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。