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国内工厂销售电子级亚磷酸三甲酯TMPI

¥55000

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规格:7N

包装:不锈钢瓶

品牌:leadmat

深圳市旺达康科技有限公司

 
     
     
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电子级亚磷酸三甲酯(TMPI)

一、分子式: P(OCH3)3  

二、分子量: 124.08

三、理化性质

无色液体,有刺激性臭味,熔点-78,沸点111112,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursorTDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterialTEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。


国内工厂销售电子级亚磷酸三甲酯TMPI