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电子级磷酸三甲酯(TMPO)

一、分子式：PO(OCH3)3

二、分子量：140.07

三、理化性质

无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水和*，难溶于乙醇。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。