商品详情

名称

正硅酸四乙酯(TEOS)

化学式

C8H20O4Si

相对分子量

208.33

CAS号

78-10-4

理化性质

无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。

CVD类型

材料

APCVD

TEOS,O3

LPCVD

TEOS

PECVD

TEOS,O2

序号

中文名

化学式

CAS号

中文别名

英文名

1

三甲基铝

C3H9Al

75-24-1

三甲基铝

Trimethylaluminium

2

三甲基锑

Sb(CH3)3

594-10-5

三甲基锑

Trimethylantimony

3

三乙基锑

C6H15Sb

617-85-6

三乙基锑

Antimony  triethide

4

二叔丁基碲

PhTeMgBr

83817-35-0

二叔丁基碲

Tert-butyl  telluride

5

二乙基碲

Te(C2H5)2

627-54-3

二乙基碲

Telluriumdiethyl

6

二异丙基碲

C6H14Te

51112-72-2

二异丙基碲

Diisopropyl  telluride

7

三（二甲氨基）镓

Ga(N(CH3)2)3

57731-40-5

三(二甲基酰氨基)镓(III)

Tris(dimethylamido)gallium(III)

8

三（二甲氨基）硅

C6H19N3Si

15112-89-7

三(二甲胺基)硅烷

Tris(dimethylamino)silane

9

三（二甲氨基）锑

C6H18N3Sb

7289-92-1

三(二甲氨基)锑

Tris(dimethylamino)antimony

10

四（二甲氨基）铪

C8H24HfN4

19962-11-9

四(二乙氨基)铪

Tetrakis(diethylamion)hafnium

11

四（甲乙胺基）铪

C12H32HfN4

352535-01-4

四双(乙基甲基氨)铪(IV)

Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)

12

四（二甲氨基）锗

C8H24GaN4

7344-40-3

四（二甲氨基）锗

Germanium  dimethylamide

13

四（二甲氨基）锆

C8H24N4Zr

19756-04-8

四(二乙氨基)锆(Ⅳ)

Tetrakis(diethylamion)zirconium(  Ⅳ)

14

四（甲乙胺基）锆

C12H32N4Zr

175923-04-3

四(乙基甲基氨基)锆(IV)

Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(iv)

15

四（二甲氨基）锡

C8H24N4Sn

1066-77-9

四（二甲氨基）锡

Tetrakis(dimethylamino)tin

16

四（二甲氨基）钛

C8H24N4Ti

3275-24-9

四（二甲氨基）钛

Titanium  tetrakis(dimethylamide)/TDMAT

17

四（甲乙胺基）钒

C12H32N4V

791114-66-4

四(乙基甲基氨基)钒

Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium

18

五（乙氧基）钽

C10H30O5Ta

6074-84-6

乙醇钽(V)

Tantalum(5+)  ethanolate

19

五（二甲氨基）钽

C10H30N5Ta

19824-59-0

五（二甲氨基）钽

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

二环茂二烯铁 ;双环戊二烯基铁 ;

Ferrocene

20

二茂铁

C10H10Fe

102-54-5

环戊二茂铁

21

二茂锰

C10H10Mn

73138-26-8

双(环戊二基)锰

Bis(cyclopentadienyl)manganese(  Ⅱ)

22

二茂镍

C10H10Ni

1271-28-9

双(环戊二烯)镍

Bis(η5-2,4-cyclopentadien  -1-yl)nickel

23

二茂钌

C10H10Ru

1287-13-4

双(环戊二烯)钌

Ruthenocene

24

甲基二茂镁

C12H14Mg

40672-08-0

双(甲基环戊二烯)镁

Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium

25

乙基二茂镁

C14H18Mg

114460-02-5

双(乙基环戊二烯)镁

Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium

26

乙基二茂锰

C14H18Mn

101923-26-6

二(乙基环戊二烯基 )锰(II)

Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese

27

乙基二茂钌

C7H9RuC7H9

32992-96-4

双(乙基环戊二烯基 )钌(II)

Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II)

28

三甲基甲基环戊二烯基铂

C9H16Pt

94442-22-5

(三甲基)甲基环戊二烯合铂 (IV)

(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum  (IV)

29

（四甲基庚二酮）锂

C11H19LiO2

22441-13-0

（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锂

(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)lithium

30

（四甲基庚二酮）银

C11H19AgO2

79827-25-1

2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸根银(I)

2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato  silver (I)

31

二（六氟戊二酮）铜

C10H2CuF12O4

14781-45-4

双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)

Copper(II)  hexafluoro-2,4-pentanedionate

32

三（乙酰丙酮）铱

C15H21IrO6

15635-87-7

三(乙酰丙酮根)合铱(III)

Iridium(III)  acetylacetonate

33

三（四甲基庚二酮）镧

C33H57LaO6

14319-13-2

(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镧

BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)

34

二（四甲基庚二酮）铅

C22H38O4Pb

21319-43-7

双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)铅

BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)

35

三（四甲基庚二酮）铋

C33H57BiO6

142617-53-6

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋

BISMUTH TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE)

36

三（四甲基庚二酮）铒

C33H57ErO6

34750-80-6

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒

ERBIUM TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL -3,5-HEPTANEDIONATE)

37

三（四甲基庚二酮）钇

C33H57O6Y

15632-39-0

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钇

TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)YTTRIUM(III)

38

环戊二烯铟

C5H5In

34822-89-4

环戊二烯铟(I)

Cyclopentadienylindium  (I)

39

四氯化锡

Cl4Sn

7646-78-8

四氯化锡

Tin  tetrachloride

40

四异丙醇钛

C12H28O4Ti

546-68-9

钛酸四异丙酯

Titanium  tetraisopropanolate

41

叔丁醇锂

C4H9LiO

1907-33-1

叔丁醇锂

Lithium  tert-butoxide