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电子级三溴化硼
一、分子式:BBr3
二、分子量:250.5
三、理化性质:
三溴化硼具有强烈刺激性臭味,常温下为无色或稍带黄色的发烟液体。相对密度2.64,熔点-46℃,沸点91.7℃。溶于四氯化碳,吸水性强,易被水和醇等分解。见光、遇热易分解,受热可能爆炸,接触空气会冒出白烟。为强路易氏酸,能与碱反应形成络合物和加成物。有强刺激作用,腐蚀性较强,蒸气有毒。
四、用途:
电子级三溴化硼用于半导体集成电路、太阳能电池、半导体分离器件等行业中作为P型掺杂源,通过热扩散对晶体硅进行P型掺杂。其次,三溴化硼还是制造高纯硼及其他有机硼化物的原料。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /AtomicLayer Depostion )化学气相沉积材料
Dielectrics PMD/IMD | TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
Low K Dielectrics | 4MS ,OMCATS |
High K Dielectrics | TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
Metal Gate and Interconnect Metal | TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
Low-Temp Nitride/Oxide | HCDS |
Diffusion | POCl3 |