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洁净室之构成
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。 洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件: A.不会因温度变化与振动而发生裂痕; B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子; C.吸湿性小; D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
单 向 流(1—100级)洁 净 室
1—100级的洁净室,均采用单向流的气流组织送风方式,即洁净室内的气流在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,这样可以使洁净室气象“活塞”一样,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果,高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非 单 向 流(1000—10万级)洁 净 室
1000—10万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。
不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。