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晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801/802

薄片载体的落座检测

依靠与导槽并用，设定落座位置。

晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。

在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。

采用强抗外部干扰光的变调光方式。

电线使用净化电线(无粉尘)。

EE-SPY801

EE-SPY802

EE9-C01

EE9-C02

EE-SPY301

EE-SPY302

EE-SPY311

EE-SPY312

EE-SPY401

EE-SPY402

EE-SPY411

EE-SPY412

EE-SPY414

EE-SPY415

EE-SPY801

EE-SPY802

EE-SPZ301-A

EE-SPZ302

EE-SPZ401-A

EE-SPZ402

EE-SV3

EE-SV3-B

EE-SV3-C

EE-SV3-CS

EE-SV3-D

EE-SV3-DS

EE-SV3-G

EE-SV3-GS

EE-SX1018

EE-SX1025

EE-SX1031

EE-SX1035

EE-SX1041

EE-SX1041-CA

EE-SX1041-KM

EE-SX1042

EE-SX1046

EE-SX1054

EE-SX1055

EE-SX1055 S1

EE-SX1055 S2

EE-SX1057

EE-SX1058-P1

EE-SX1063-P1

EE-SX1070

EE-SX1071

EE-SX1071-RANKB

EE-SX1080

EE-SX1081

EE-SX1088

EE-SX1094(Q)

EE-SX1096

EE-SX1103

EE-SX1105

EE-SX1106

EE-SX1107

EE-SX1108

EE-SX1109

EE-SX1115

EE-SX1115-A

EE-SX1128

EE-SX1131

EE-SX1137

EE-SX1140

EE-SX1235A-P1

EE-SX1235A-P1 S1

EE-SX1235A-P2

EE-SX1235A-P2 S2

EE-SX1235A-P2-S1

EE-SX129

EE-SX138

EE-SX153

EE-SX198

EE-SX199

EE-SX2088

EE-SX212

EE-SX298

EE-SX3009-P1

EE-SX3009-P17

EE-SX301

EE-SX3019-P2

EE-SX305

EE-SX3070

EE-SX3081

EE-SX3088

EE-SX3239-P2

EE-SX329

EE-SX384

EE-SX398

EE-SX398 S1

EE-SX4009-P1

EE-SX4009-P10

EE-SX401

EE-SX4015A-P5

EE-SX4015-P3

EE-SX4015-P3-S30

EE-SX4015-P5

EE-SX4019-P2

EE-SX405

EE-SX4070

EE-SX4081

EE-SX4088

EE-SX4134

EE-SX4134-1

EE-SX416-P1

EE-SX4235A-P1

EE-SX4235A-P1-S1

EE-SX4235A-P2

EE-SX4235A-P2-S1

EE-SX4238-P2

EE-SX4238-P2 CHN

EE-SX4238-P4 CHN

EE-SX460-P1

EE-SX460-P12(Q)

EE-SX470

EE-SX470P

EE-SX471

EE-SX471P

EE-SX472

EE-SX472P

EE-SX473

EE-SX473P

EE-SX474

EE-SX474P

EE-SX484

EE-SX493

EE-SX495

EE-SX498

EE-SX670

EE-SX670A

EE-SX670B

EE-SX670-C1J-R 0.1M

EE-SX670P

EE-SX670P-WR 1M

EE-SX670R

EE-SX670-WR 1M

EE-SX671

EE-SX671A

EE-SX671-C1J-R 0.1M

EE-SX671P

EE-SX671P-C1J-R 0.1M

EE-SX671P-WR 1M