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扫描白光干涉显微仪SWIM-1510MS干涉仪
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扫描白光干涉显微仪
产品特点及用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：
● 晶体（Wafer）
● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）
● 平面电组件（MEMS Components）
● 平面液晶显示器（LCD）
● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB）
● IC封装（IC Package）
以上其它材料分析与组件微表面研究
专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo）
● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
（waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
产品特点及用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：
● 晶体（Wafer）
● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）
● 平面电组件（MEMS Components）
● 平面液晶显示器（LCD）
● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB）
● IC封装（IC Package）
以上其它材料分析与组件微表面研究
专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo）
● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
（waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
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型号 |
SWIM 1510MS |
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系统配备 |
显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机 |
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显微镜 |
单眼显微镜（标准配件） |
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干涉物镜（选配） |
放大率 视野（mm） 光学分辨率（nm） |
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10X 0.5 1.12 |
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影像缩放 |
1.0X（标配） 0.5X（选配） |
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垂直扫描控制器 |
扫描范围 扫描分辨率 扫描模式 光强度调整 扫描速度 |
100 μm 400 μm(选配) 0.1nm 自动 自动/手动 12nm/s（最快） |
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样品移动平台 |
X、Y平面多动平台 Z轴移动平台 位置数字显示单元 偏移调整平台 |
150mm*100mm,手动（标准配件） 80mm, 手动(标准配件) 三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm） 手动 |
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取得单元 |
影像传感器 感测器解析度 |
面型CCD（标准配件） 640*480图像(标准配件) |
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电脑配件 |
Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盘 |
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MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等 |
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阶高标准片(选配) |
50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm |