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激光平面干涉仪

上海宙山精密光学仪器有限公司

 
     
     
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 PG15-J 激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度,仪器配有激光光源(波长为6328A)。对于干涉条纹可目视,测量读数,照相留存记录。

PG15-J激光平面干涉仪
主要技术参数:
1
、第一标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30)
2
、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20)
3
、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm,焦距:f=400mm
4
、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o,成像物镜:ID=4.5ПD=7ШD=10f=16f=23f=37
5
、干涉室尺寸:深260*300*190mm
6
、光源规格:激光ZN18He-Ne)。
7
、仪器的外形尺寸:长** 350*400*720mm
8
、仪器重量:100公斤。

激光平面干涉仪