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型号 |
CMS-554M |
CMS-564M |
CMS-574M |
CMS-584M |
CMS-665M |
CMS-685M |
CMS-6105M |
|
行程 |
X |
500 |
500 |
500 |
500 |
600 |
600 |
600 |
Y |
500 |
600 |
700 |
800 |
600 |
800 |
1000 |
|
Z |
400 |
400 |
400 |
400 |
500 |
500 |
500 |
仪器精度 |
空间精度 MPEE=(3.5+L/250) μm 单轴精度 MPEE1=(3.0+L/250) μm |
分辩率 |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
0.5μm |
外形尺寸 |
1.0*1.1*2.2(m) |
1.0*1.2*2.2(m) |
1.0*1.3*2.2(m) |
1.0*1.4*2.2(m) |
1.14*1.1*2.4(m) |
1.14*1.3*2.4(m) |
1.14*1.5*2.4(m) |
整机重量 |
700kg |
770kg |
840kg |
910kg |
900kg |
1040kg |
1180kg |
最大承重 |
200kg |
200kg |
200kg |
200kg |
500kg |
500kg |
500kg |
包装外形尺寸 |
1.45*1.37*2.1(m) |
1.45*1.47*2.1(m) |
1.45*1.57*2.1(m) |
1.45*1.67*2.1(m) |
1.45*1.55*2.4(m) |
1.35*1.75*2.4(m) |
1.35*1.95*2.4(m) |