品牌: | SNU | 型号: | SIS 1200 | 操作方式: | 手动 |
功能: | 检测、观察、分析 | 精度 : | 1nm | | |
其它型号: | SIS 2000 |
·产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。
·产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
·技术参数
机型 | SIS 1200 |
工作台 | 尺寸 | 250 mm×174 mm |
倾斜度 | ±3 ° |
测量行程 | X:150mmY:100mm |
Z轴行程 | 50mm |
运动方式 | 手动 |
扫描速度 | 30μm/sec |
垂直分辨率 | 0.1nm |
CCD | 黑白CCD, 640×480 像素 |
物镜安装架 | 手动导引五孔式 |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× |