ZLM800
双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。通过把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合,而制造出新型的干涉仪测量系统。
配备的可编程ASIC装置,可根据用户的要求,提供个性化测量系统方案。
ZLM800激光干涉仪广泛应用于单一校准系统、多轴定位系统及快速动力学控制系统。它可以测算出机械设备的动力学行为,通过WINDOWS软件,按用户设定的工作方式对其进行分析。
ZLM800激光干涉仪配有一个模块化系统超级蔡司光学镜头,为用户使用激光干涉仪进行测量提供了完美的解决方案:
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- 位置
- 距离
- 速度
- 加速度
- 角度
- 振动
- 直度
- 垂直度
- 平坦度
- 整齐度
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工作模式
专利型ZLM800激光干涉仪使用氦氖气体激光,在双频外差中工作。 激光热稳定性为0.002 ppm,两种模式下640MHz击打频率相当于信号处理能力的四倍。这种高频处理信号可以对运动速度非常块的物体进行测量而无干扰误差,信号延时非常短。
通过光纤电缆来传输干涉仪光学镜头到PC插槽上电子计数器电路信号,可防止外部电磁环境的干扰。因此ZLM800特别适用于恶劣的生产环境、标准测量环境及高真空环境。
作为PC插槽的替代品,可使用独立的数据处理电子单元。它带有多个接口,用于数据输出、连接闭环控制回路。该型号的干涉仪可以扩展为五轴测量。
产品特点
- 被测物体最大速度16m/s
- 无干扰误差时的分辨率2.5nm(带平面镜干涉仪时为1.25nm)
- 无加速度限制
- 即使非常低的光线水平,探测信号也十分稳定
- 信号延时<200 ns
- 激光寿命内,频率稳定
- 对电磁干扰不敏感
- 适用于在高真空中使用的超级蔡司光学镜头
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可靠性测量方法
使用相关的测量软件及简单的操作,ZLM800干涉仪可完成可靠稳定的测量任务,它完全符合ISO9000/9004标准规范。
ZLM800系统增加了测量的可靠性和稳定性
世界范围内,ISO9000/9004是产品质量控制管理的统一标准,严格根据该标准来进行的质量检测,可以保证任何制造企业产品质量的性能。
测量的稳定性由测量工具、测量方法和操作者等多方面因素决定,测量系统的标定误差会极大影响测量结果的准确性。
通过一种新的测量助手软件可以最大限度减小整个测量系统的调整误差。两个四象限传感器置于激光测量镜头内, 一个用作测量光束,一个用作参考光束,从而保证了干涉仪系统能够以最优的工作方式与被测的物体相适应。由于使用了大屏幕显示,因此干涉仪的自适应能力会非常灵敏。
使用调整助手的优点
- 系统调整精度显示的建立时间最小化
- 即使在最复杂的设置环境中,激光头的自调整能力也非常强
- 在最高稳定性的情况下来完成测量任务
智能化测量方法
ZLM800信号处理电路是以可编程ASIC装置为基础的。在测量工作中,不同信号之间的相互作用没有影响。
ZLM800可以与外部第二个计数系统相连接,这就使得被测设备和激光测试仪之间的比较变成一个路径、节约时间。该过程使用实时信号偶合,按照德标或国际标准对数据进行分析。
激光测试仪作为最准确三维测量工具,测量数据易于记录,不易丢失。这些优点使得ZLM800激光测试仪是机械设备校准和鉴定使用德理想选择。
测量控制标准
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA
精准的测量方式
在环境条件(特殊情况下的物质温度)通过AUK500自动环境补偿仪(气象站)完全记录下来,并且周围环境情况与测量室内条件一致的情况下。即使是标准的配置,ZLM800激光测试仪的分辨率也能够达到5nm,测量误差优于1µm/m。
使用ZLM800激光干涉仪,使对机器设备和比较仪的长度测量校准变得更为容易和简单。
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周围环境对测量结果的影响可通过AUK500自动环境补偿仪或手工输入来修正。最多可使用5个物质温度传感器来补偿被测物体的线性偏移。 |
简便的测量方式
ZLM800激光干涉仪带有WINDOWS™数据分析软件,长度测量精度极为准确,而且对数据的分析也极为方便。 可随意登陆测量数据、表格和图表,并且可充分利用WINDOWS™程序的各种优势。无论是测量位置、角度或者是直线度,由Carl Zeiss设计的专用软件可以集成到任何的微软WINDOWS™系统中。测量、分析、记录和数据存档过程都可在短时间内轻松的完成。
在程序设计的过程中,用户最关心的一个问题是测量结果的记录。集成式记录编辑器使得编辑和打印某个图表、表格和用户指定的内容更为容易。所有记录的内容都可通过剪贴板上的中间编辑器来导出到文字处理器中。
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在准备和测量的过程中,最重要的信息项目信息都会显示出来。使用鼠标或很少的几个按键,就可进入所有的功能程序中。 |
要测算和分析测量的数据,通过简单的操作,就可生成各种图形和表格,甚至某些极小的细节都可囊括进去。 |
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测量的数据可以在文档卡中存档。通过卡片标签,可以对某些特殊数据进行快速检索,甚至从大量数据中进行检索。 |
本干涉仪的优势性能
测量
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