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范围 365mm 615mm 920mm （加接长臂） 520mm 770mm 1075mm 575mm 820mm 1130mm 最大不垂直度及直线度 ≤6μm ≤8μm ≤12μm 测量值不确定度 （2+3×L）μm 重复性 ±2S=≤2μm 最大测头速度 300mm/s 测量力 1.6N±0.25N