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昆山力电精密机械有限公司
光刻机(JKG-2A)
光刻机,是随着我国电子工业发展,为适应生产大规模集成电路、CCD、表面波、磁泡、微波等器件的光刻需要而设计制造的。它可以真空接触的方法,将掩模上的各种图案经紫外光束的曝光,分别转印至硅片或其它基片上,再经其它工序的处理,从而获得完整的微电子器件。